工业中处理污水比较常用的方法是活性污泥法。曝气池是所有活性污泥法的心脏，其作用是搅拌混合液使泥、水充分接触和向微生物供氧。

传统空气曝气法氧利用效率较低，而当曝气不足时，溶解氧成为限制活性污泥生物反应的因素，同时由于体积占比78%的氮气在生物反应中不会得到利用，空气曝气工艺会排出大量的挥发性有机物质（VOCs),会造成大气环境的二次污染。

纯氧曝气工艺由于全部使用商业氧气，其运行成本较高，且由于纯氧曝气相对气量较少，往往不能满足曝气池搅拌需要，需要另行设置辅助搅拌设备。富氧曝气工艺通过对现有空气曝气系统进行改造，设置氧气供气与混合单元，使原空气曝气系统在富氧条件下工作。富氧曝气通过对空气曝气和纯氧曝气的系统结合，既可以根据需要灵活调整曝气量，也无需辅助搅拌设备，并且不会排出挥发性有机物质（VOCs)。VPSA制氧设备可以提供高效廉价的富氧源，进一步的，运行成本也得到有效控制。